MEMS・CNT融合プロセスによるナノセンサデバイスの開発

Study period：2009 - 2009
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 大学院工学研究科, 教授 )
Research overview：

当研究の研究目的は、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術、ナノ加工技術およびカーボンナノチューブ形成技術を融合して「極微小質量センサデバイス」を開発することにより、タンパク質に代表されるバイオ分子の質量や抗原抗体過程を検知する、新規なバイオ分子質量計測技術を確立することである。シリコンMEMS技術とCNT形成技術を融合することで、ディスポーザルで低コストなナノセンサデバイスの製造を目指す。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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