光回路実装のための導波モード共鳴ミラー

Study period：2013 - 2013
Organization (1)：
Research responsibility： ( , 大学院工芸科学研究科, 教授 )
Research overview：

共振器集積導波モード共鳴ミラー(CRIGM)を設計・試作した。分布ブラッグ反射器で形成する共振器の内部にグレーティングカップラをチャネル導波路に集積する構造を設計した。石英ガラス基板にAu金属反射膜を蒸着後、バッファ層及びGe:SiO2導波コア層をプラズマCVDで堆積し、塗布した電子ビーム(EB)レジストにグレーティング凹凸およびチャネル構造を電子ビーム直接描画リソグラフィにて形成した。反射スペクトルおよび位相変化を測定した。反射位相を測定するため、2光束干渉を利用する光学系を構築した。その結果、2πの位相変化を確認することができた。

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Research program：＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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