Proj
J-GLOBAL ID:202104005705237197  Research Project code:09158010

ナノ構造制御された超多周期積層厚膜の高速作製技術の開発

ナノ構造制御された超多周期積層厚膜の高速作製技術の開発
Study period:2009 - 2009
Organization (1):
Principal investigator: ( , 工学部, 教授 )
Research overview:
研究担当者らは、10[nm]程度の硬・軟磁性層を1000層程度積層したMEMS用厚膜磁石をレーザディポジッション(PLD)法により実現しているが、ドロップレットにより積層構造が一部崩れる問題があった。そこで、基板-ターゲット間に飛散されたドロップレットを補助レーザにより再アブレーションし、成膜速度を損なうことなくドロップレットを除去する「補助レーザ法」を開発・改良し、ナノ構造厚膜磁石の一層の高性能化を達成する。
Terms in the title (5):
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page