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J-GLOBAL ID：202104005735732435  Research Project code：19198424

半導体製造プロセスをモニターする超小型高感度ガスセンサーの開発

半導体製造プロセスをモニターする超小型高感度ガスセンサーの開発
National award number：JPMJTM19DB
Study period：2019 - 2020
Organization (1)：
岡山大学

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Principal investigator：
狩野 旬

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(
岡山大学

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, 大学院自然科学研究科, 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM19DB
Research overview：
金属-半導体接合による,ショットキー障壁を利用した半導体製造プロセスをモニターする超小型高感度ガスセンサーの開発を行う。本提案は,産業ガス製造事業者の要求に応えるもので,新型ガスセンサーが開発でき次第,高純度ガスラインの純度管理に利用される。
Terms in the title (5)：
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半導体製造プロセス

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モニター

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高感度

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Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

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Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

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