Proj
J-GLOBAL ID:202104005747578733  Research Project code:7700008517

大気圧開放下におけるダイヤモンド膜の生成およびその制御

大気圧開放下におけるダイヤモンド膜の生成およびその制御
Study period:2006 - 2006
Organization (1):
Principal investigator: ( , 大学院理工学研究科, 助教授 )
Research overview:
マイクロ波プラズマを利用した化学気相合成法(CVD)によるダイヤモンド膜作成において,すべてのプロセスを大気圧開放下で行い,真空容器等を必要としない手法を確立し,基板の大きさによらず,任意の広さ・形状のダイヤモンド膜を作成することの出来る装置を研究開発する.
Terms in the title (2):
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page