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J-GLOBAL ID:202104005872132305  Research Project code:18088452

化学修飾フリー金表面改質技術の配線プロセスへの導入検証;酸化金生成と保存に関する新技術の開発

化学修飾フリー金表面改質技術の配線プロセスへの導入検証;酸化金生成と保存に関する新技術の開発
National award number:JPMJTM18DG
Study period:2018 -
Organization (1):
Principal investigator: ( , 理工学域工学系, 教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTM18DG
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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