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J-GLOBAL ID：202104005872132305  Research Project code：18088452

化学修飾フリー金表面改質技術の配線プロセスへの導入検証;酸化金生成と保存に関する新技術の開発

化学修飾フリー金表面改質技術の配線プロセスへの導入検証;酸化金生成と保存に関する新技術の開発
National award number：JPMJTM18DG
Study period：2018 -
Organization (1)：
鹿児島大学

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Principal investigator：
肥後 盛秀

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(
鹿児島大学

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, 理工学域工学系, 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM18DG
Terms in the title (7)：
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化学修飾

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開発

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Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

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