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J-GLOBAL ID：202104005906929810
Research Project code：08062238
自己組織プロセスにより創製された機能性・複合CNT素子による柔らかいナノMEMSデバイス
自己組織プロセスにより創製された機能性・複合CNT素子による柔らかいナノMEMSデバイス
National award number：JPMJCR08G4
Study period：2008 - 2013
Organization (1)：
Principal investigator：
(
, ナノチューブ応用研究センター, スーパーグロースCNTチーム長 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJCR08G4
Research overview：
カーボンナノチューブ(CNT)MEMSデバイス産業を実現するための、デバイス基盤製造技術と、異材料とのインテグレーション技術を開発します。ボトムアップの技法と微細加工技術を組み合わせて、CNTの位置・形状を自由自在に制御しながら集積化させ、異材料とインテグレーションさせ、デザインされた機能を有するCNT素子・ナノ(MEMS)デバイスを創製します。
Terms in the title (6)：
Terms in the title
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Research program：
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Parent Research Project：
プロセスインテグレーションによる機能発現ナノシステムの創製
Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency
