DC-RF併用スパッタ法による光触媒アナターゼ型TiO2スパッタ薄膜の高速製膜法の開発と応用

Study period：2007 - 2007
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 大学院ソシオテクノサイエンス研究部先進物質材料部門, 准教授 )
Research overview：

ガラス基板や壁面素材上にTiO2膜をコーティングするにあたり高速の膜作製法を開発し、膜の特性向上をはかる。その手法として、対向ターゲット式プレーナマグネトロンスパッタ法やアンバランスプレーナマグネトロンスパッタ法において、DC電源とRF電源を同時に印加し大電力をターゲットに投入できるようにする。このことで10-20分で1ミクロン厚さのTiO2を達成する。この技術をベースにして、光触媒性能の向上の要因について検討をしていく。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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