J-GLOBAL ID:202104006461842340  Research Project code:08150607

AFM 探針評価標準試料の開発

AFM 探針評価標準試料の開発
National award number:JPMJSN09C1
Study period:2009 - 2011
Organization (1):
Corporate responsibility:
Research overview:
原子間力顕微鏡(AFM) による実形状測定のために、本事業「要素技術プログラム」での成果をもとに、プローブ形状測定標準試料及び校正状態確認用グレーティングの実用化に向けた開発を行い、多層膜を利用した標準試料作製技術を確立します。また、市場にあるAFM カンチレバーに対応した標準試料を開発することで、カンチレバーに形状測定機能の付加価値をつけ、ISO に準拠したソフトウェアを開発し、ユーザーに利便性を提供します。
Terms in the title (5):
Terms in the title
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Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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