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J-GLOBAL ID:202104006649218466  Research Project code:19192912

機械学習判定によるSiCウェハ・デバイス信頼性高速評価装置開発

機械学習判定によるSiCウェハ・デバイス信頼性高速評価装置開発
National award number:JPMJTM19CP
Study period:2019 - 2020
Organization (1):
Principal investigator: ( , 大学院工学研究科, 准教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTM19CP
Research overview:
パワー半導体デバイス用の材料SiCには、ウェハ内に欠陥が存在する。特に基底面転位という欠陥は、長期信頼性を有するデバイスの製造を困難にする。本課題では、SiCウェハの基底面転位を検出し、デバイス信頼性を高速で判定する装置を開発する。
Terms in the title (5):
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Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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