小型、安価、微細加工用真空紫外・短パルスレーザの開発

Study period：2005 - 2005
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 電気工学科 )
Research overview：

たんぱく結晶の無ひずみ微細加工,先端CPUの1ow・k膜切断,青紫色LD,LEDのサファイヤ基板の割断,など,先端的科学技術や産業の分野では,非熱的微細レーザ加工の必要性が高まっている.非熱的微細レーザ加工用光源としてCPA(チャープパルス増帽)方式超短パルス(フェムト秒)レーザが試験的に用いられているが複雑高価で取り扱いが困難などの理由で実用機とは言い難い.CPAを用いないで,小型,簡便な手段(後方誘導ラマン効果)により,レーザの短パルス化を図り,かつ発振波長を適切にシフトすることにより,高効率で波長を200nm以下の真空紫外に波長変換し,安価コンパクトで信頼性の高い短パルス,短波長(真空紫外)レーザ光源を開発し,先端の非熱的微細レーザ加工用の実用的光源として,学術,技術の先端分野に貢献する.

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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