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J-GLOBAL ID:202104006743862140
Research Project code:12102392
カーボンナノチューブ/ナノメタル複合体配線の実用化にむけた要素技術開発
カーボンナノチューブ/ナノメタル複合体配線の実用化にむけた要素技術開発
Study period:2012 - 2013
Organization (1):
Research responsibility:
(
, 工学部, 准教授 )
Research overview:
カーボンナノチューブ/ナノメタル複合体は従来のナノAgや銅配線に比べて低抵抗で高い耐電流密度を有する。本研究では、ソフトリソグラフィを基盤とした高精度印刷技術によりカーボンナノチューブ/ナノメタル複合体の高性能電極配線技術開発を行った。大面積化や作製時間の短縮に有利な既存の印刷配線技術を組み合わせてプラスチック基板等への直接印刷も行い、企業等との共同研究を見据えた複合電極配線の実用化に向けた要素技術開発を行った。また、カーボンナノチューブや複合体を電極とした有機トランジスタやポリイミド湿度センサの試作と評価を行いデバイス応用も実証した。
Terms in the title (6):
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Research program:
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Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency
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