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J-GLOBAL ID:202104006809684531  Research Project code:08062283

メタマテリアルの自己組織的作製とナノリソグラフィーへの応用

メタマテリアルの自己組織的作製とナノリソグラフィーへの応用
National award number:JPMJPR08H7
Study period:2008 - 2012
Organization (1):
Principal investigator: ( , 多元物質科学研究所, 助教 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJPR08H7
Research overview:
波長よりも小さい金属-誘電体の周期構造は、負の屈折率を持ち、回折限界以下の光を投影できるメタマテリアルとなることが報告されています。本研究では、自己組織化により内部にナノサイズの相分離構造を持つブロックコポリマー微粒子を作製し、ナノメッキ技術により金属化することで、紫外・可視光領域におけるメタマテリアルを作製します。これをレンズに用いることで、回折限界を超えるナノリソグラフィー技術を確立します。
Terms in the title (5):
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Research program:
Parent Research Project: ナノシステムと機能創発
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency
Reports :

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