Proj
J-GLOBAL ID:202104006963763592  Research Project code:12102747

大気圧プラズマによる円管内壁へのダイヤモンド状炭素膜合成

大気圧プラズマによる円管内壁へのダイヤモンド状炭素膜合成
Study period:2012 - 2013
Organization (1):
Research responsibility: ( , 大学院理工学研究科, 教授 )
Research overview:
近年、機械部品の耐摩耗保護膜としてDLC膜が注目され、油圧摺動部品などに用いられる金属円管内面へのDLC膜コーティングも需要が高まっている。従来の0.1~50 Paの高真空下で行われるプラズマCVD法では、アスペクト比が高い円管内面にDLC膜を合成することは困難であった。本研究は細径・高アスペクト比の金属管内面へのナノパルスプラズマCVDによるDLC膜成膜を目的として金属円管自身を真空容器とするナノパルスプラズマCVD装置を試作し、準大気圧(13300 Pa:1/10気圧)において内径40mmおよび14 mm、長さ300 mmのSUS304円管内面に、テトラメチルシランを原料とした中間層の上にDLCを成膜できることを明らかにした。
Terms in the title (4):
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page