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J-GLOBAL ID：202104006985837310  Research Project code：16808498

同軸型アークプラズマ堆積法を用いた超硬へのナノダイヤモンド膜のハードコーティング

同軸型アークプラズマ堆積法を用いた超硬へのナノダイヤモンド膜のハードコーティング
National award number：JPMJTM16DJ
Study period：2016 - 2016
Organization (1)：
九州大学

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Research responsibility：
吉武 剛

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(
九州大学

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, 総合理工学研究院, 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM16DJ
Terms in the title (5)：
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アークプラズマ

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