Proj
J-GLOBAL ID:202104007021842558  Research Project code:16808574

パーティクル抑制効果に優れたプラズマエッチング用セラミックス部材の開発

パーティクル抑制効果に優れたプラズマエッチング用セラミックス部材の開発
National award number:JPMJTM16C1
Study period:2016 - 2016
Organization (1):
Research responsibility: ( , その他部局等, 研究員 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTM16C1
Terms in the title (5):
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page