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J-GLOBAL ID：202104007021842558  Research Project code：16808574

パーティクル抑制効果に優れたプラズマエッチング用セラミックス部材の開発

パーティクル抑制効果に優れたプラズマエッチング用セラミックス部材の開発
National award number：JPMJTM16C1
Study period：2016 - 2016
Organization (1)：
国立研究開発法人産業技術総合研究所

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Research responsibility：
笠嶋 悠司

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(
国立研究開発法人産業技術総合研究所

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, その他部局等, 研究員 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM16C1
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パーティクル

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抑制効果

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プラズマエッチング

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