固体電解質膜作製のためのドライプロセス技術の開発

Study period：2007 - 2007
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 工学部機能材料工学科, 教授 )
Research overview：

電子機器の超小型エネルギー源として期待される薄膜バッテリーや薄膜スーパーキャパシタには、高イオン伝導性の固体電解質膜が必須である。本研究では、代表的なドライプロセス技術であるスパッタリング法において、水蒸気を反応ガスとして用いることで、プロトン伝導性のTa2O5固体電解質膜を作製する。

, , ,

Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page