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J-GLOBAL ID：202104007323528356  Research Project code：19216828

制御ヒドリドを用いた上質な還元ナノプロセスの実証

制御ヒドリドを用いた上質な還元ナノプロセスの実証
National award number：JPMJTM19YN
Study period：2019 - 2020
Organization (1)：
京都工芸繊維大学

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Principal investigator：
比村 治彦

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(
京都工芸繊維大学

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, 電気電子工学系, 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM19YN
Research overview：
本研究課題では、従来法では困難であった作成する薄膜の膜質をナノメートルオーダーで均一にする新規なナノプロセスの開発を目的とする。具体的には、制御ヒドリドを用いた上質な還元ナノプロセスの実証を行なう。
Terms in the title (4)：
Terms in the title
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ヒドリド

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還元

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, 
プロセス

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, 
実証

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Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

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Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

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