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J-GLOBAL ID:202104007337623920  Research Project code:09156517

高感度ねじり振動型MEMS赤外線センサ

高感度ねじり振動型MEMS赤外線センサ
Study period:2009 - 2009
Organization (1):
Principal investigator: ( , 機械システム, 教授 )
Research overview:
高感度でありながら非冷却で動作するセンサを、非線形性が強いバネと組み合わせて、ねじり振動子を応用して実現する。波長感度が広く一定な熱型センサの特徴と、小さな振動子の一次元アレイ化によって、赤外分光をハンディな小型システムで可能にする。物質の有無・特定・濃度の、その場測定を可能にすることで、環境モニタリング、食品への異物混入検査、人体からの微量ガス測定による無侵襲医療などの応用を開く。
Terms in the title (4):
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Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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