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J-GLOBAL ID:202104007405790156  Research Project code:07051003

プラズマナノ科学創成によるプロセスナビゲーション構築とソフト材料加工

プラズマナノ科学創成によるプロセスナビゲーション構築とソフト材料加工
National award number:JPMJCR07M5
Study period:2007 - 2011
Organization (1):
Principal investigator: ( , 大学院工学研究科, 教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJCR07M5
Research overview:
将来のナノデバイス量産のために、プラズマプロセスを試行錯誤的手法から科学に基づいた手法への質的変換を実現します。そのため、ラジカル・イオン密度、エネルギーのモニタリング技術を有した卓上型コンビナトリアルプラズマ解析装置を創成し、プラズマナノ科学を構築するとともに、科学に基づいたプロセスデータマップによるプロセスナビゲーションという指導原理を確立します。これにより有機ソフト材料の革新的ナノ加工生産技術を確立します。
Research program:
Parent Research Project: ナノ科学を基盤とした革新的製造技術の創成
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency
Reports :

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