超広視野レーザ走査装置を用いた高精度キズ検出装置の試作

Study period：2007 - 2007
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 自然科学系, 教授 )
Research overview：

微細なキズの検査は目視またはCCDカメラによる方法が一般的である.CCDを用いる方法では,検出素子の画素数に限界があり,広い領域をカバーし,かつ高精度に観察することはできない.一方で,透明物体あるいは低反射率物体のキズ検出が求められている.CCDカメラなどの現状の技術でこれらの測定に対応するのは困難である.そこで,シュリンクフィッタ法に基づいたレーザ走査光学装置を用いることで,従来の技術では測定困難な物体に対しても,広範囲を高精度に検査できる装置を試作する.

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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