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J-GLOBAL ID:202104007935058090  Research Project code:08000564

変形可能なガラス基板上へのダブルゲート微結晶Si TFTを利用したインバータの試作

変形可能なガラス基板上へのダブルゲート微結晶Si TFTを利用したインバータの試作
Study period:2007 - 2007
Organization (1):
Principal investigator: ( , 工学部電子工学科, 助教授 )
Research overview:
変形可能なガラス基板上にプラナー型自己整合メタルダブルゲート微結晶Si 薄膜トランジスタ(TFT)を形成し、移動度50cm2/Vs の低温 poly-Si TFT に匹敵する電流駆動能力を有するTFT を低コストで実現することを目指す。さらに回路の基本となるインバータを試作してその特性・性能を把握する。
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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