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J-GLOBAL ID：202104008227002579  Research Project code：7700009052

氷粒子高速衝突現象を利用した洗浄・研磨装置の開発

氷粒子高速衝突現象を利用した洗浄・研磨装置の開発
Study period：2006 - 2006
Organization (1)：
室蘭工業大学

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Principal investigator：
杉山 弘

About 杉山 弘

(
室蘭工業大学

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, 工学部機械システム工学科, 教授 )
Research overview：
固体粒子高速衝突現象の素過程の解明と、無公害洗浄・研磨への応用を目指した氷粒子高速衝突実験装置の基盤技術の研究開発を行う。
Terms in the title (6)：
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
氷粒子

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, 
高速衝突

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現象

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洗浄

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研磨装置

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, 
開発

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Research program：
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Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

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