LSI内部のビアオープン故障の検査入力生成法の開発

Study period：2008 - 2008
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 大学院ソシオテクノサイエンス研究部, 准教授 )
Research overview：

近年のLSIの高集積化・多層化にともない、内部配線においては層間のビアが多数用いられている。ビア欠陥によるオープン故障が発生した際には、隣接配線の電圧等による影響を受けるが、対象となる故障数および故障現象数が膨大で検査が困難である。本研究では、ビアオープン故障の検査に関して、実ICのレイアウトから検査入力生成の対象とするビア数の削減を行い、効率的な検査入力生成法についての開発を行う。また、擬似オープン故障を挿入するIC試作により実ICにおける評価を行う。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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