Proj
J-GLOBAL ID:202104008627274225  Research Project code:09156431

可変キャパシタを利用した静電浮上機構のセルフセンシング制御システム

可変キャパシタを利用した静電浮上機構のセルフセンシング制御システム
Study period:2009 - 2009
Organization (1):
Principal investigator: ( , 理工学研究科, 教授 )
Research overview:
可変キャパシタを利用した容量型アクチュエータ制御システムを静電浮上に適用し、従来は不可欠であった変位センサを用いずに安定な浮上を達成する。適用する制御システムでは、浮上用アクチュエータと可変キャパシタとを直列に接続し、その両端に一定の直流電圧を印加する。そして、可変キャパシタによってアクチュエータに印加される電圧を制御する。本課題では、可変キャパシタに印加される電圧から浮上対象物の変位を推定する。
Terms in the title (4):
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page