Proj
J-GLOBAL ID：202104008972453736
Research Project code：08062578
超高速ナノインプリントリソグラフィ技術のプロセス科学と制御技術の開発
超高速ナノインプリントリソグラフィ技術のプロセス科学と制御技術の開発
National award number：JPMJCR0845
Study period：2008 - 2013
Organization (1)：
Principal investigator：
(
, 高度産業科学技術研究所, 教授 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJCR0845
Research overview：
次世代微細加工技術としてナノインプリント技術が注目されていますが、集積回路応用にはスループット、CDなどの課題があります。その解決には、ナノインプリントにおける材料・プロセスの科学的な解明と画期的な手法の提案が求められています。本研究課題では、実用性の高いナノインプリントリソグラフィに向けて材料・プロセス技術の開発を行います。
Terms in the title (4)：
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
,
,
,
Research program：
＞
＞
Parent Research Project：
次世代エレクトロニクスデバイスの創出に資する革新材料・プロセス研究
Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency
