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J-GLOBAL ID：202104009122526587  Research Project code：7700007926

シリコン集積回路と一体化形成可能な電界効果発光(EL)素子の開発

シリコン集積回路と一体化形成可能な電界効果発光(EL)素子の開発
Study period：2005 - 2005
Organization (1)：
岡山県立大学

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Principal investigator：
大曽根 隆志

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(
岡山県立大学

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, 情報工学部 )
Research overview：
目的:シリコン集積回路上に形成可能な超小型・高精細・低電圧駆動EL素子の開発 内容:絶縁膜上に形成したn+多結晶シリコン膜上にCVD(化学気相成長)法でシリコン酸化膜を形成して高濃度にシリコンをドープし、その上面に透明電極を形成したシリコン集積回路とプロセス互換性の優れたEL素子を試作し、実用化のための実証デバイスを試作する。
Terms in the title (6)：
Terms in the title
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シリコン

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集積回路

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開発

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Research program：
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Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

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