ビスマス系セラミックス材料を用いたマイクロ圧力センサの開発

Study period：2009 - 2009
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 中央研究所評価技術課, 研究員 )
Research overview：

キュリー点Tcの高い圧電体材料であるビスマス系セラミックスを用いて、高感度な圧力センサの開発を行うことが研究目的である。非鉛系のセラミックス材料のBi₄Ti₃O₁₂はTcが800°C以上であり、代表的な圧電材料であるPZTよりも高く、高温の条件で使用される電子部品に応用可能である。また、セラミックス厚膜を作製したシリコン基板の裏面をエッチングすることによってキャビティ構造を形成して、センサの感度向上への影響も調査する。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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