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J-GLOBAL ID:202104009432630546  Research Project code:08001034

MEMS技術を用いた微小材料の熱物性測定デバイスの開発

MEMS技術を用いた微小材料の熱物性測定デバイスの開発
Study period:2007 - 2007
Organization (1):
Principal investigator: ( , 情報電子部 電子・光材料系, 研究員 )
Research overview:
MEMS技術を用いて、数mm~数100mm程度の微小試料の熱伝導率や比熱等の熱物性値を測定するためのデバイスを開発する。近年、基礎研究、産業応用の両面において非常に重要な意味をもつ新奇な有機材料や生体材料等が提案されているが、試料が微小であり熱物性値の測定が困難である。そこで、本研究では(1)高断熱構造による熱測定MEMSデバイスの高性能化、(2)実用化に向けた試料装着手法の開発、を行い、微小材料の熱物性値の精密測定が可能な新規MEMSデバイスを世界に先駆けて開発することを目標とする。
Terms in the title (4):
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Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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