炭素系硬質薄膜の窒素ガス潤滑による超低摩擦しゅう動要素の開発と応用

Study period：2005 - 2005
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 大学院工学研究科 )
Research overview：

精密位置決めシステムやハードディスク用高速,精密スピンドルに代表される超精密機器のしゅう動部では,その精度の限界故に,従来使用されている転がり要素を用いることは困難であり剛性の高いすべり要素の導入が進んでいる.しかし,転がり要素と比較し摩擦が高いすべり要素の場合,その潤滑法が機器の精度と信頼性を支配することになる.精密機器においては,従来の油や固体の潤滑剤は,汚染源となるとともにシステムの精度劣化の主因となるため使用することは困難であり,すべり要素のしゅう動部は動圧により非接触状態を実現できる高速回転,高速すべりの場合のみに限られている.このような現状において,本課題は,従来の液体,固体を用いた潤滑が不可能な超精密機器しゅう動部の潤滑法として適応可能な革新的低摩擦しゅう動要素の開発を行なうものである.特に動圧効果を期待することが難しい低速領域において使用可能な簡便かつ汎用的な低摩擦すべり軸受の開発を目指すものである.

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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