ナノ構造・酸化物半導体を用いた高感度フォース・センサーの開発

Study period：2009 - 2009
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 工学研究科, 教授 )
Research overview：

半導体材料に歪みを加えて発生する導電率変化(ピエゾ抵抗効果)は、半導体をロッド形状に加工し、長手方向に力を印加することで、格段に増大することが期待される。本課題では、半導体として酸化亜鉛(ZnO)を用い、そのナノ・ロッド群を上下電極で挟み込んだ構造のフォース・センサー開発を構想しており、センサーに高感度性を与え、基体形状に依らずセンサーの大面積化を可能にする要素技術の確立を行う。

, , ,

Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page