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J-GLOBAL ID:202104010628923132
Research Project code:09157079
SEM 中マイクロプラズマ処理装置の開発
SEM 中マイクロプラズマ処理装置の開発
Study period:2009 - 2009
Organization (1):
Principal investigator:
(
, 工学部 電子 光システム工学科, 教授 )
Research overview:
本課題は走査型電子顕微鏡中で試料を観察しながら、局所的にマイクロプラズマ処理を行う技術の開発である。マニピュレーター先端に取りつけたマイクロオリフィスから試料の近傍にマイクロガスジェットを噴射し、オリフィスを電極として直流、パルス、および高周波の放電によってマイクロプラズマを生成する。反射電子像を観察しながら、その場でガスの選択により局所的な薄膜コーティングやエッチングなどの微細加工が可能となる。
Terms in the title (3):
Terms in the title
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Research program:
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Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency
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