プラズマ異常放電検出用高感度プローブの開発

Study period：2006 - 2006
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 電子情報工学科, 教授 )
Research overview：

本研究は、熊本県地域結集型共同研究事業において開発を行った独創的なプラズマ異常放電検出用窓型プローブを基に、エネルギーフィルター機構を付加した拡散荷電粒子のエネルギー分布差異検出による高感度化および、検出・増幅部を一体化内蔵して最適構造を具現化したRF周波数帯域(高調波成分信号)の信号検出ができる新たな機能を加えた高感度且つ広帯域の異常放電検出用新型プローブを開発する。その目標として、検出感度向上:10倍(SN 比54dB→74dB)、広帯域化:10倍(20MHz→200MHz)を目指す。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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