Proj
J-GLOBAL ID:202104010725227213  Research Project code:7700108210

欠陥消滅機能を持つ半導体洗浄液の実用化研究

欠陥消滅機能を持つ半導体洗浄液の実用化研究
Study period:2004 -
Organization (1):
Principal investigator: ( , 教授 )
Research overview:
従来の洗浄液の1/100以下の低濃度の成分で十分な洗浄能力を持ち、かつ半導体中の欠陥準位を消滅させる機能を併せ持つ安価な新洗浄液を開発する。本洗浄液の使用により、各種半導体デバイスの高性能化と低コスト化が同時に達成できるものと期待される。
Terms in the title (4):
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page