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J-GLOBAL ID:202104010935173035  Research Project code:09156983

SiC単結晶の放電加工ワイヤー技術開発と応用

SiC単結晶の放電加工ワイヤー技術開発と応用
Study period:2009 - 2009
Organization (1):
Principal investigator: ( , エネルギー半導体エレクトロニクス研究ラボ, 主任研究員 )
Research overview:
次世代パワーデバイス半導体材料であるSiC単結晶の難加工性を解決する新しい放電加工切断技術のための切断用ワイヤーおよびそのワイヤーシステムの開発を主な研究テーマとする。本研究にて、高能率・高精度・低損傷・低価格を実現する放電加工ワイヤー切断技術開発の促進を図り、従来技術であるダイヤモンドマルチワイヤーソーの代替化を狙う。
Terms in the title (6):
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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