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J-GLOBAL ID:202104011066328453  Research Project code:13408666

ナノ微細加工を応用したプラズモニックレンズ・アレイ素子の研究開発

ナノ微細加工を応用したプラズモニックレンズ・アレイ素子の研究開発
Study period:2013 - 2013
Organization (1):
Research responsibility: ( , 大学院工芸科学研究科, 教授 )
Research overview:
表面プラズモン応用光学デバイスとして有望なプラズモニックレンズの研究開発を進め、構造最適化、ナノ加工技術のブラッシュアップを行った。波長405nmの半導体レーザー用として、従来は単一のスパイラル形状のスリット開口のみの構造でサブ波長サイズの集光スポットを得ていたが、光利用効率が低いため光記録(加工)に適用するには問題があった。今回は新たに2つの構造のレンズを設計し、電磁場シミュレーションにより、サブ波長の集光特性を保持しつつ光利用効率の大幅な改善が可能なことを確認した。なおレンズはFIB加工等により作成し、微細パターン加工精度を評価した。また集光特性を、レジスト露光により評価する光学系の準備を整えた。今後はこの露光実験により特性を評価し、レンズアレイ作製用のナノインプリント方式の検討を進める。
Terms in the title (4):
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Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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