金属プラズマを利用した大面積イオン源の実用化

Study period：2007 - 2007
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 材料技術部, 研究員 )
Research overview：

金属表面に対する金属イオン注入やドライコーティングを目的としてEBガン(電子ビーム蒸発源)を装荷した低ガス圧高電離金属プラズマによる金属イオン注入法を提案する。その特徴としてEBガンによる金属蒸気を2段階放電により高電離プラズマ化する技術があげられる。この金属イオン化技術と未電離金属蒸気の回収技術を工夫することにより大面積で取り扱いが簡便な金属イオン源を試作し、その性能評価を行う。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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