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J-GLOBAL ID：202104011344532547  Research Project code：7700116772

インラインで大口径ウエハを測定可能な高周波磁性薄膜評価装置の開発

インラインで大口径ウエハを測定可能な高周波磁性薄膜評価装置の開発
Study period：2012 - 2014
Organization (2)：
株式会社東栄科学産業

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, 
東北学院大学

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Corporate responsibility：
株式会社東栄科学産業

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Research responsibility：
薮上 信

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(
東北学院大学

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, 大学院工学研究科, 教授 )
Terms in the title (7)：
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インライン

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大口径

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高周波

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磁性薄膜

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評価装置

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, 
開発

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Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

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Organization with control over the research：
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