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J-GLOBAL ID：202104011386442629  Research Project code：08069434

ポリイミド/CNT複合体の微細加工技術と電極・電子部品応用

ポリイミド/CNT複合体の微細加工技術と電極・電子部品応用
Study period：2008 - 2008
Organization (1)：
信州大学

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Principal investigator：
伊東 栄次

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(
信州大学

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, 工学部 電気電子工学科, 助教授 )
Research overview：
本技術は耐薬品性や耐熱性に優れたポリイミドをナノインプリント技術と異方性エッチング技術により微細加工し、電極開口部にカーボンナノチューブ(CNT)とポリイミドの複合体を埋め込む技術を提供するものである。電界電子放出源として4V/μm 以下で1mA/cm2 を実現し、直径5μm のビアホールにおいて10Ω以下の立体配線を実現することを目標とする。
Terms in the title (6)：
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Research program：
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Organization with control over the research：
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