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J-GLOBAL ID：202104011388101136
Research Project code：07100029
LSI用3次元カーボン・アクティブ配線の開発
LSI用3次元カーボン・アクティブ配線の開発
National award number：JPMJCR0746
Study period：2007 - 2009
Organization (1)：
Principal investigator：
(
, 電子デバイス事業本部, 統括部長付 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJCR0746
Research overview：
配線抵抗の増大、大電流密度による信頼性劣化を抑えるためにグラフェンを用いた微細配線技術、およびグローバル配線に求められるリピータ機能等を持つアクティブ配線技術の開発を行います。
Terms in the title (4)：
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
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Research program：
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Parent Research Project：
次世代エレクトロニクスデバイスの創出に資する革新材料・プロセス研究
Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency
