Proj
J-GLOBAL ID:202104011420306969  Research Project code:7700009367

引張応力を持つシリコン薄膜の創製と高機能マイクロミラーデバイスへの応用

引張応力を持つシリコン薄膜の創製と高機能マイクロミラーデバイスへの応用
Study period:2005 - 2005
Organization (1):
Principal investigator: ( , 大学院工学研究科ナノメカニクス専攻 )
Research overview:
強い引張応力を持つシリコン薄膜を新しく導入して、マイクロミラーデバイスを多くのアプリケーションに適用できるよう性能アップする。主に実用化を阻んでいるのは以下の3問題である。?低電圧駆動で、かつ大きなミラー回転角を得ることが難しいこと、?ミラー回転角の高精度制御が難しいこと、?高速動作に適した、軽くて光の波長レベルで平坦なミラーの製作が難しいこと、本研究は直接には?と?を解決するマイクロミラーデバイスの試作と評価である。
Terms in the title (5):
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page