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J-GLOBAL ID：202104011503438115  Research Project code：7700108163

鉄シリサイド光センサ

鉄シリサイド光センサ
Study period：2000 -
Organization (1)：
産業技術総合研究所

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Principal investigator：
牧田 雄之助

About 牧田 雄之助

(
産業技術総合研究所

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, 主任研究官 )
Research overview：
鉄とシリコンの化合物であるβ-FeSi2半導体薄膜を用いた光センサの研究開発を行う。β-FeSi2半導体光センサは、1.5μm帯で高感度、高SN比、広いダイナミック特性を持ち、かつ優れた耐候性を有する。本センサはSi基板との一体化が容易であり、光ファイバ通信を始めとした広範囲な利用が期待できる。
Terms in the title (3)：
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
鉄

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, 
シリサイド

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, 
光センサ

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Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

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Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

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