Proj
J-GLOBAL ID：202104011526023770  Research Project code：16808474

高アスペクト比TSVへの無電解めっきによるバリアシード層形成

高アスペクト比TSVへの無電解めっきによるバリアシード層形成
National award number：JPMJTM16DB
Study period：2016 - 2016
Organization (1)：
関西大学

About 関西大学


Research responsibility：
新宮原 正三

About 新宮原 正三

(
関西大学

About 関西大学

, システム理工学部, 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM16DB
Terms in the title (5)：
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
高アスペクト比

About 高アスペクト比

, 
TSV

About TSV

, 
無電解めっき

About 無電解めっき

, 
バリ

About バリ

, 
層形成

About 層形成

Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

About Industry-Academia Collaborative R&D

＞
R&D Programs Focused on Technology Transfer

About R&D Programs Focused on Technology Transfer

＞
Matching planner program

About Matching planner program


Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM