a 軸配向ZnO 透明トランジスタの新規製造プロセス開発

Study period：2009 - 2009
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 電子工学科, 教授 )
Research overview：

本試験では、安定な昇華特性を有するアセチルアセトン亜鉛(Zn(C₅H₇O₂)₂)ファイバーをMO-CVD(有機金属気相成長法)原料としたa軸配向ZnO透明トランジスタ(TFT)を実現するための実用化プロセスを明らかにする。具体的には、従来の研究成果とそれを基にした独自の製法を融合して、表面平坦性と十分な絶縁耐圧を有する積層膜(透明導電電極/ゲート絶縁膜)を形成し、この積層膜上に高移動度、高on/off比を目的とした透明なa軸配向ZnO-TFT構造を実現する。

, , , ,

Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page