Proj
J-GLOBAL ID:202104012095711300
Research Project code:07051230
ラージスケールナノ精度加工・計測・転写プロセスの構築
ラージスケールナノ精度加工・計測・転写プロセスの構築
National award number:JPMJPR06N8
Study period:2006 - 2009
Organization (1):
Principal investigator:
(
, 大学院工学研究科, 助手 )
DOI:
https://doi.org/10.52926/JPMJPR06N8
Research overview:
数十ミリメートルオーダーのラージスケールにおいて、ナノ精度の表面粗さと形状精度を持つマスターを作製し、それをナノ精度で転写することにより、ナノ精度の形状と表面粗さをもつ表面を量産できる、一連のプロセスを構築することを目的としています。反射型光学素子に飛躍的な性能向上と低価格化をもたらす、革新的なナノ精度表面生産プロセスの構築を目指します。
Terms in the title (3):
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
,
,
Research program:
>
>
Parent Research Project:
ナノ製造技術の探索と展開
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency
Reports :
Return to Previous Page