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J-GLOBAL ID:202104012095711300  Research Project code:07051230

ラージスケールナノ精度加工・計測・転写プロセスの構築

ラージスケールナノ精度加工・計測・転写プロセスの構築
National award number:JPMJPR06N8
Study period:2006 - 2009
Organization (1):
Principal investigator: ( , 大学院工学研究科, 助手 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJPR06N8
Research overview:
数十ミリメートルオーダーのラージスケールにおいて、ナノ精度の表面粗さと形状精度を持つマスターを作製し、それをナノ精度で転写することにより、ナノ精度の形状と表面粗さをもつ表面を量産できる、一連のプロセスを構築することを目的としています。反射型光学素子に飛躍的な性能向上と低価格化をもたらす、革新的なナノ精度表面生産プロセスの構築を目指します。
Terms in the title (3):
Terms in the title
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Research program:
Parent Research Project: ナノ製造技術の探索と展開
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency
Reports :

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