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J-GLOBAL ID:202104012195316271  Research Project code:13412588

超臨界プラズマ酸窒化ナノ微粒子生成装置の開発

超臨界プラズマ酸窒化ナノ微粒子生成装置の開発
Study period:2013 - 2013
Organization (1):
Research responsibility: ( , 工学研究科, 准教授 )
Research overview:
超臨界流体化学気相堆積とプラズマ酸窒化が同一チャンバ内で同時に可能なプラズマ支援超臨界流体ナノ微粒子合成装置の構築に向け、超臨界プラズマ 生成用電極を試作し、放電特性の評価を行った。具体的には、対向型電極構造などの各種電極構造を検討し、周波数60MHzのVHFならびにDCバ イアス、パルスバイアスを印加して、低圧下およびCO2およびHe雰囲気下での放電特性を評価した。これらの知見を基に、超臨界下を含む高圧状態 でのプラズマ形成と、超臨界プラズマを用いた酸窒化微粒子合成技術の開発を進めた。
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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