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J-GLOBAL ID:202104012569513432  Research Project code:19197152

高品質複合フッ化物単結晶を用いた色消しの屈折型深紫外対物レンズの開発

高品質複合フッ化物単結晶を用いた色消しの屈折型深紫外対物レンズの開発
National award number:JPMJTR1921
Study period:2019 - 2020
Organization (1):
Corporate responsibility: ( , コアテクノロジー事業部, シニアサイエンティスト )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTR1921
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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