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J-GLOBAL ID:202104012769438974  Research Project code:09156430

光感応性有機薄膜を用いた蒸着マスクレスパターン形成とデバイス応用

光感応性有機薄膜を用いた蒸着マスクレスパターン形成とデバイス応用
Study period:2009 - 2009
Organization (1):
Principal investigator: ( , 大学院共生科学技術研究院, 教授 )
Research overview:
次世代有機デバイスでは微細パターンを大面積に形成する必要があるが、現在のシャドウマスクを通した蒸着法では限界がある。そこで本研究では機能性有機材料と光重合開始剤の共蒸着により光感応性有機薄膜を形成し、次いで紫外線露光及び現像を行うことにより、蒸着マスクを用いずにデバイスパターンを形成する。さらに、このプロセスを逐次組み合わせ、3色の画素を光描画してパターン形成・集積し、多色発光素子を試作する。
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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