Proj
J-GLOBAL ID：202104012792641884  Research Project code：16808244

ハイパーブランチポリアセタールを基盤とした高解像性レジスト材料の開発

ハイパーブランチポリアセタールを基盤とした高解像性レジスト材料の開発
National award number：JPMJTM16G9
Study period：2016 - 2016
Organization (1)：
関西大学

About 関西大学


Research responsibility：
工藤 宏人

About 工藤 宏人

(
関西大学

About 関西大学

, 化学生命工学部, 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM16G9
Terms in the title (4)：
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
基盤

About 基盤

, 
高解像性

About 高解像性

, 
レジスト材料

About レジスト材料

, 
開発

About 開発

Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

About Industry-Academia Collaborative R&D

＞
R&D Programs Focused on Technology Transfer

About R&D Programs Focused on Technology Transfer

＞
Matching planner program

About Matching planner program


Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM