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J-GLOBAL ID:202104012792641884  Research Project code:16808244

ハイパーブランチポリアセタールを基盤とした高解像性レジスト材料の開発

ハイパーブランチポリアセタールを基盤とした高解像性レジスト材料の開発
National award number:JPMJTM16G9
Study period:2016 - 2016
Organization (1):
Research responsibility: ( , 化学生命工学部, 准教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTM16G9
Terms in the title (4):
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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