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J-GLOBAL ID:202104012854330899
Research Project code:10101897
サファイアデバイスの機能表面加工
サファイアデバイスの機能表面加工
Study period:2010 - 2010
Organization (1):
Research responsibility:
(
, 工学部, 教授 )
Research overview:
化学プラント、海洋・宇宙開発の分野など極限環境において、サファイアは分析機器のデバイス材料としてニーズが高まりつつある。本研究は、サファイアの微細切削技術により表面にマイクロオーダの微細構造を加工し、表面機能を制御することを目的としている。まず、エンドミル切削によりサファイアの表面に深さ10μm、幅125μmの微細構造を加工する技術を開発した。また、一定間隔で加工した溝の微細構造によって、表面のぬれ性が異方性を有することを確認した。本研究では、サファイア表面の微細構造を切削で加工でき、表面機能を制御できることを示した。この成果は、サファイアの高機能デバイスや材料開発用の基板に応用できる。
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Research program:
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Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency
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